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ナノ厚さ薄膜の高分解能リアルタイム可視化法

  • 工学部/工学研究科
  • マイクロ・ナノ機械理工学専攻

教授 福澤 健二[ふくざわ けんじ]

http://ayame.fukuzawa.nuem.nagoya-u.ac.jp/index.html

シーズの概要

エリプソメトリーの原理に基づき,膜厚分解能0.1nmオーダ,面内分解能0.1μmオーダで,リアルタイムにナノ厚さの薄膜の膜厚分布を可視化できる.

この研究の新規性・独創性

エリプソメトリー(偏光解析法)という光学的原理に基づいているため,非接触で測定ができる.さらに,膜厚分布を偏光素子により明暗像に変換するため,膜厚分布を像として一括して取得することでリアルタイム可視化を実現した.

産学連携を目指した応用研究

酸化シリコン膜・フォトレジスト膜,脂質膜などナノ厚さの液体・固体薄膜の形成・分布観測.

一言アピール

境界潤滑などナノ領域の相対運動を安定に、かつ高精度に実現する技術の開発を目指して、機能性トライボ表面の創成、ナノ厚さ液膜の力学特性の計測(ピコ変位・ナノ力計測)、分子動力学シミュレーションよるナノ厚さ潤滑膜の挙動解析などの研究を進めている。

キーワード

"境界潤滑""ナノ厚さ液体膜""表面計測""マイクロマシン""バイオ計測""プローブ計測"

保有技術

  • ナノトライボロジーのための微小力学現象計測技術
  • ナノ厚さ潤滑膜の分布計測および制御技術
  • MEMS技術を用いた新規なセンシングデバイス設計・作製技術
  • マイクロナノメカトロニクス機器、DNAなどバイオ機器ための分子シミュレーション技術

主な機器

  • クリーンルーム(クラス1万)
  • 走査型プローブ顕微鏡
  • 光学的表面性状分析装置(OSA)
  • 走査型エリプソメータ

主な特許

  • 特許番号 特許第5035904号膜厚分布測定装置

主な論文

  • Motion Picture Imaging of a Nanometer-thick Liquid Film Dewetting by Ellipsometric Microscopy with a Sub-μm Lateral Resolution, K. Fukuzawa, T. Yoshida, S. Itoh, H. Zhang, Langmuir, Vol. 24, pp. 11645-11650 (2008)
  • Self-Organized Patterning of Molecularly Thin Liquid Polymer Films Utilizing Molecular Flow Induced by Ultraviolet Irradiation, H. Zhang, Y. Mitsuya, N. Fukuoka, M. Imamura, K. Fukuzawa, Applied Physics Letters, Vol. 90, pp. 123119-1-3 (2007)