主催：名古屋大学 低温プラズマ科学研究センター（cLPS)
　　　＜HP＞ https://www.plasma.nagoya-u.ac.jp
　　　大気圧プラズマによる超高速・超機能化異種材料接合オープンプラットフォーム
共催：名古屋大学協力会

毎月第3週金曜日、名古屋大学低温プラズマ科学研究センター（cLPS) が異種材料接合に関する産業界ニーズにお応えすべく最新の研究内容をご紹介します。講演後に産業界のお困り案件解決にむけて産学官が連携してディスカッションいたします。

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日　　時：2019年12月20日（金）
講　　演：15:00～16:40　（無料）
質疑応答：16:40～17:00　（無料）

場　　所：名古屋大学　IB電子情報館中棟1階　013講義室
　　　　（アクセス）https://www.engg.nagoya-u.ac.jp/access/campusmap.html
　　　　　　　　　　地下鉄名城線名古屋大学駅３番方面より
　　　　　　　　　　「西地区連絡通路」へ出てすぐの入口へ

講　　師：　竹田　圭吾　准教授
　　　　　　名城大学　理工学部　電気電子工学科

タイトル：低温プラズマが引き起こす物理化学的な反応機構の理解とその制御

講演内容：低温プラズマを用いたプロセス技術は、現代社会を支える基幹デバイスである半導体デバイスや機械・電気部品の製造現場で広く利用され、近年では医療やバイオ応用も研究されています。このような低温プラズマは気体の放電現象を利用して生成され、その内部には物理・化学的な作用をもたらす数多くの中性活性種や荷電粒子が存在します。それら粒子の相互的な反応により高度なプラズマプロセスが実現されることから、本技術の継続的な発展や新たな革新にはそれら粒子反応の理解が最重要の研究課題となっています。今回紹介するプラズマ計測技術は、それら粒子の状態を知るための極めて重要な技術であり、低温プラズマの反応機構を物理化学的に理解し、制御するための欠かすことのできないツールであります。本講演では半導体デバイス製造やバイオ応用などプロセスプラズマ内の活性粒子種の計測結果やそれを基盤とするプラズマプロセスの制御例を紹介します。

参加申込（事前申し込み制　定員 70名）：名古屋大学低温プラズマナノ科学研究センター（cLPS)

＊申し込みは下記フォームからお願いします。
＊こちらもご覧ください　金三会ちらし.pdf

■2019年度の予定　------------------------------------------------------------------

第４３回　2020年２月２１日
講演者：布村正太　上級主任研究員　産業技術総合研究所
講演題目：未定
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【ご質問お問い合わせ先】
e-mail ; open[at]plasma.engg.nagoya-u.ac.jp 　　（ [at]を＠へ変更してください。）
TEL ; 052-789-3460