「微細加工技術とマイクロ・ナノプロセス」
～名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノプロセス工学研究グループの紹介～

Introduction of MEMS and Micro-nano machining group,
Graduate school of engineering, Nagoya University

【開催趣旨】
名古屋大学大学院工学研究科 マイクロ・ナノプロセス工学研究グループ 秦　研究室では，新しい微細加工技術，MEMS，新材料開発のためのコンビナトリアル技術，材料評価技術，それらを用いたマイクロセンサー，マイクロアクチュエーターと医療・産業応用システムについての研究を行っています．
本セミナーでは秦　研究室の研究内容を紹介し，実験室見学も行います．多数ご参加ください．


【開催日時】平成29年6月23日（金）14:00～19:00
【開催場所】名古屋大学　ベンチャービジネスラボ内ベンチャーホール
　　　　　　（会場地図　　http://www.vbl.nagoya-u.ac.jp/access/index.html">）

【参加費】セミナー・・・　会員：無料
　　　　　　　　　　　　非会員：5,000円（意見交換会費を含む）

　　　　　意見交換会・・・会員：無料
　　　　　　　　　　　　非会員：1,000円　
　　　　　　　　　　　　　

【定　員】80名（定員になり次第締め切ります）

【主　催】名古屋大学協力会
【後援（検討中）】公益財団法人 科学技術交流財団

【講演1】14:00～14:30

「マイクロ・ナノプロセスで切り拓く新しい加工技術と材料技術」
　Micro-nano processes pioneering new processes and novel materials



マイクロ・ナノ機械理工学専攻　教授　秦　誠一
Professor Dr. Seiichi Hata,
Department of Micro-Nano Mechanical Science and Engineering

少子高齢化が進行している日本の競争力を維持するためには，高付加価値な製品を生み出す加工技術，材料技術を，より効率的に研究開発する必要がある．これまで当研究室では，新材料の特性や新発想を用いた微細加工技術や，新材料開発技術を生み出している．本講演では，これらの紹介や，その先に目指す新しい機械工学の将来像を昨今の大学，学生事情も含め紹介する．

【講演2】14:30～15:00

「新規機能性金属薄膜材料の開発とその応用」
　Development of novel functional metallic materials and applications

　　　　　　マイクロ・ナノ機械理工学専攻　准教授　櫻井淳平
Associate Professor Dr. Junpei Sakurai,
Department of Micro-Nano Mechanical Science and Engineering

　従来のMEMSデバイスにはシリコンが用いられるが，主に構造材料として利用に限られる．当研究室では機能性金属薄膜材料を用いてマイクロ構造体を作製することで，従来にない機能性を持ったマイクロデバイスの実現を目指している．本講演では，新規機能性金属材料の開発とその応用について紹介する．

【講演3】15:00～15:30

「フェムト秒レーザ還元直接描画法によるマイクロデバイスの作製」
Fabrication of microdevices using femtosecond laser reductive sintering　
　　　　　　　　　　　　　マイクロ・ナノ機械理工学専攻　助教　溝尻瑞枝

Assistant Professor Dr. Mizue Mizoshiri,
Department of Micro-Nano Mechanical Science and Engineering

レーザ直接描画法は，3Dプリンティングやプリンテッドエレクトロニクス分野において有用なキーツールの1つである．本講演では，大気中における金属微細構造の直接描画法として研究を進めている，フェムト秒レーザ還元直接描画法について紹介する．更に，本描画法を用いた，センサ等マイクロデバイス作製についても紹介する．

【実験室見学】15:30～17:00
Laboratory　tour

以下の実験装置等を見学していただきます．（一部実演可能，参加人数多数の場合，実演は割愛することがあります．）

金属系新材料の超効率的創成と実用化：コンビナトリアル成膜装置，ハイスループット評価装置

微細配線，金属微細構造体を大気雰囲気中で自由に作製：フェムト秒レーザ直接還元描画装置

外部利用・共用可能な各種測定・評価装置紹介：イメージングプレート型エックス線回折装置，白色干渉型三次元.表面形状解析装置，エネルギー分散型エックス線分光装置，走査型電子顕微鏡

共用クリーンルームの設備紹介：フェムト秒レーザ3次元描画装置，ナノインプリント装置等

【意見交換会】17:00～19:00
Social gathering

【お申し込み・お問い合わせ】　名古屋大学協力会事務局
　　　　　　　　　　　　　　　電話／FAX：052-782-1811
　　　　　　　　　　　　　　　e-mail：kyouryokukai@aip.nagoya-u.ac.jp