毎月第3週金曜日、名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター（PLANT) が異種材料接合に関する産業界ニーズにお応えすべく最新の研究内容をご紹介します。講演後に産業界のお困り案件解決にむけて産学官が連携してディスカッションいたします。
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日　　時：2017年12月15日（金）

講　　演：15:00～16:40　（無料）

質疑応答：16:40～17:00　（無料）

場　　所：名古屋大学　VBL館　ベンチャーホール　（３階）
　　　　　http://www.vbl.nagoya-u.ac.jp/access/index.html
　　　　　地下鉄名城線名古屋大学駅３番出口から徒歩５分程度
　　　　　工学部１号館と赤崎記念館の間の建物、３Ｆです。

講　　師：須田　淳　教授　　名古屋大学大学院　工学研究科　電子工学専攻

タイトル：プラズマ援用分子線エピタキシー(PAMBE)による窒化物半導体の結晶成長

講演内容：GaNに代表される窒化物半導体は、緑色/青色LED、Blu-ray用青紫LD、携帯電話基地局用大電力高周波トランジスタが既に実用化されています。また、パワーデバイス、深紫外LED/LD、純緑色LDなど新しいデバイスの研究開発も活発です。GaN系デバイスのエピタキシャル成長は一般的には有機金属気相エピタキシー(MOVPE) が用いられていますが、低温成長、急峻な界面形成、炭素や水素不純物フリーな成長が可能な手法として窒素分子をプラズマにより活性化したプラズマ援用分子線エピタキシー (PAMBE)があります。本講演ではPAMBEの特徴を活かした、他の成長方法では実現困難な高品質なAlN/SiCヘテロエピタキシャル成長やAlN/GaN短周期超格子の成長について紹介します。また、特に成長初期におけるプラズマ制御の重要性についても言及します。

参加申込（事前申し込み制　定員 70名）：
名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
（PLANT)
＊申し込みは下記フォームからお願いします。

■今後の予定
第３２回　2018年 １月１9日
講演者：未定

（お知らせ）金三会を共催しております、文部科学省・科学研究費補助金・ 新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」が、下記２つの催しを行います。 金三会の終了後、引き続きご参加いただけますよう あわせてご案内差し上げます。
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第２6回　プラズマ医療　サイエンスの扉　（参加費無料、登録不要）
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主　催：文部科学省 科学研究費補助金・新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」
共　催：名古屋大学プラズマ医療科学国際イノベーションセンター
　　　　名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター（PLANT）
　　　　名城大学プラズマバイオ科学技術研究センター

日　時：2017年1２月1５日（金）１７：００～１７：１５

場所：名古屋大学　VBL館　ベンチャーホール　（３階）
テーマ：機能性材料創成に向けたプラズマプロセス
講　師：竹中　弘祐 　助教
　　　　大阪大学　接合科学研究所

お問合せ先：文部科学省 科学研究費補助金・新学術領域研究
　　　　　　「プラズマ医療科学の創成」総括班事務局
　　　　　　　E-mail: singakujutu2012_secretariat[at]plasma.engg.nagoya-u.ac.jp
　　　　　　　　　　　（スパム対策として[at]にしてあります．＠（半角）へ変更してください．）
　　　　　　　Phone: 052-788-6077

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第２6回　サイエンスカフェ－プラズマ医療－
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主　催：文部科学省 科学研究費補助金・新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」
共　催：名古屋大学プラズマ医療科学国際イノベーションセンター
　　　　名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター(PLANT）
　　　　名城大学プラズマバイオ科学技術研究センター

日　時：2017年12月15日（金）１７：１５～１８：１５
場所：名古屋大学　VBL館　ベンチャーホール　（３階）
テーマ：機能性材料創成に向けたプラズマプロセス
講　師：竹中　弘祐 　助教
　　　　大阪大学　接合科学研究所

　　　　＊詳細は 第26回サイエンスの扉.docx をご覧ください

【ご質問お問い合わせ先】
　e-mail ; open[at]plasma.engg.nagoya-u.ac.jp
　　　　　（スパム対策として[at]にしてあります．＠（半角）へ変更してください．）
　TEL ; 052-789-3460

主　催：名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター（PLANT)
　　　　大気圧プラズマによる超高速・超機能化異種材料接合オープンプラットフォーム
共　催：名古屋大学協力会、プラズマ医療国際イノベーションセンター
　　　　文部科学省 科学研究費補助金・新学術領域「プラズマ医療科学の創成」