主催：名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター（PLANT)
　　　大気圧プラズマによる超高速・超機能化異種材料接合オープンプラットフォーム
共催：名古屋大学協力会、プラズマ医療国際イノベーションセンター


文部科学省 科学研究費補助金・新学術領域「プラズマ医療科学の創成」毎月第3週金曜日、名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター（PLANT) が異種材料接合に関する産業界ニーズにお応えすべく最新の研究内容をご紹介します。講演後に産業界のお困り案件解決にむけて産学官が連携してディスカッションいたします。
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日　　時：2018年1月19日（金）

講　　演：15:00～16:40　（無料）

質疑応答：16:40～17:00　（無料）

場　　所：名古屋大学　IB電子情報館　北棟７Ｆ　０７１号室
　　　　　（地下鉄名城線名古屋大学駅３番出口の「西地区連絡出口」から出てて
　　　　　　右(北)側の10階建てビル．中庭側に出入口があります．）

講　　師：松本　功　様　　　大陽日酸株式会社国際事業本部技監

タイトル：GaN電子デバイス製造における結晶成長の課題

講演内容：GaNに代表される窒化物半導体は、高速スイッチング特性を活かしたパワースイッチングならびに高周波応用、ならびに高耐圧大電力スイッチング用途に期待されています。講演ではこれらの市場ニーズに合わせた大陽日酸の研究開発ポートフォリオを紹介し、Si基板上ならびにバルクGaN基板上のデバイスに求められるエピタキシャル成長技術の課題について解説する。とくに低コストのSi基板上デバイスでは比較的低耐圧の用途のほうがコストメリットを出し易い一方でオーミックコンタクトが直列抵抗に占める割合が増え、この低減が課題となっている。現在MBEあるいはMOCVDを用いたオーミックコンタトの低温選択再成長が行われているが、より低コストを目指した高密度ラジカルN2とPLDを用いた技術を紹介する。また縦型GaN MOSトランジスタにおける課題を紹介してプラズマプロセスの応用可能性を議論したい。

参加申込（事前申し込み制　定員 70名）：
　　　　　名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
　　　　　（PLANT)
　　　　　＊申し込みは下記フォームからお願いします。
　　　　　

■今後の予定
　第３３回　2018年 ２月１６日
　講演者：未定

【ご質問お問い合わせ先】
　　　　e-mail ; open[at]plasma.engg.nagoya-u.ac.jp　
　　　　　　　　（スパム対策として[at]にしてあります．＠（半角）へ変更してください．）

（お知らせ）金三会を共催しております、文部科学省・科学研究費補助金・ 新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」が、下記２つの催しを行います。 金三会の終了後、引き続きご参加いただけますよう あわせてご案内差し上げます。
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　第27回　プラズマ医療　サイエンスの扉　（参加費無料、登録不要）
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主　催：文部科学省 科学研究費補助金・新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」
共　催：名古屋大学プラズマ医療科学国際イノベーションセンター
　　　　名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター（PLANT）
　　　　名城大学プラズマバイオ科学技術研究センター

日　時：2018年1月19日（金）１７：００～１７：１５
場　所：名古屋大学IB電子情報館北棟　７階　０７１号室
テーマ：生体の活性種とプラズマの活性種
講　師：呉 準席（お　じゅんそく）研究員
　　　　名城大学　理工学部

【お問合せ先】文部科学省 科学研究費補助金・新学術領域研究
　　　　　　「プラズマ医療科学の創成」総括班事務局
　　　　　　　E-mail: singakujutu2012_secretariat@plasma.engg.nagoya-u.ac.jp
　　　　　　　Phone: 052-788-6077

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　第27回　サイエンスカフェ－プラズマ医療－
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主　催：文部科学省 科学研究費補助金・新学術領域研究「プラズマ医療科学の創成」
共　催：名古屋大学プラズマ医療科学国際イノベーションセンター
　　　　名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター(PLANT）
　　　　名城大学プラズマバイオ科学技術研究センター

日　時：2018年1月19日（金）１７：１５～１８：１５
場　所：名古屋大学IB電子情報館北棟　７階　０７１号室
テーマ：生体の活性種とプラズマの活性種
講　師：呉 準席（お　じゅんそく）研究員
　　　　名城大学　理工学部

　　　　＊詳細は 第27回サイエンスの扉.docx をご覧ください

【お問い合わせ先】
　　　　e-mail ;singakujutu2012_secretariat@plasma.engg.nagoya-u.ac.jp
　　　　TEL ; 052-789-3460

主　催：名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター（PLANT)
　　　　大気圧プラズマによる超高速・超機能化異種材料接合オープンプラットフォーム
共　催：名古屋大学協力会、プラズマ医療国際イノベーションセンター
　　　　文部科学省 科学研究費補助金・新学術領域「プラズマ医療科学の創成」